CRTI Library

Le présent travail porte sur la simulation, la modélisation, le dépôt et la caractérisation des couches minces piézoélectriques sur substrat, élaborés par pulvérisation cathodiques, ainsi la micro- fabrication des dispositifs électroacoustiques. L'étude numérique vise la modélisation des ondes acoustiques dans des matériaux piézoélectriques sous l'influence des différentes conditions aux limites, les modes acoustiques de surface et de volume seront exploités numériquement pour l'application du dispositif dans la détection en milieux liquides. Le dépôt des couches minces piézoélectriques en ZnO et AlN ou un autre matériau piézoélectrique sur différents type de substrats (Si, SiO2 et SiC/Si) représente la première partie expérimentale. Des caractérisations seront effectuées, en utilisant différentes technique comme le MEB, le DRX, l'AFM, la spectrophotométrie et la piézométrie pour analyser la qualité de la surface, l'orientation des coupes, l'état cristallin, la piézoélectricité et d'autres paramètres des films élaborés. La deuxième partie dans ce projet est dédiée à la conception et la réalisation des électrodes sur les substrats piézoélectriques. L’architecture des électrodes s'articule sur le mode d'excitation à sélectionner. Concernant la réalisation d’un dispositif électroacoustique pour des applications de détection, les électrodes inter-digitées seront réalisées par micro-fabrication en utilisant des masques en plastique ou en verre et de la résine photosensible. Par la suite, les tests du dispositif seront effectués par analyseur de réseau, et les techniques du traitement du signal.