Caractérisation des couches mincespar les techniques optiques.

Type : Article de conférence
Auteur(s) :  A. Boughelout, A. Hammouda, L. CHABANE, N. ZEBBAR et M. KECHOUANE.
Année :  2014
Domaine : Sciences des matériaux
Conférence: La 4ème Conférence Internationale sur le Soudage, le C.N.D, et l’Industrie des Matériaux et Alliages (IC-WNDT-MI’14).
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Mots clés :  pulvérisation réactive, oxyde de zinc, propriétés optiques, caractérisation structurale, conductivité électrique.

Résumé : 

Dans ce travail nous avons utilisé des techniquesoptiques et structurales pour caractériser des couches minces deZnO déposées par pulvérisation cathodique sur des substrats deverre corning et silicium monocristallin. Nous avons utilisé laspectroscopie Raman pour analyser le type de la structure descouches mince (ZnO) élaborées ainsi que la diffraction des rayonsX.Les caractérisations optiques comportent le relevé destransmittances dans l’UV-Visible et les paramètres optiques telque les indices de réfraction des couches et leurs épaisseurs, lesmesures de la photoluminescence pour déduire le gap des coucheset les niveaux des défauts dans le matériau.Les caractérisations structurales (diffraction des rayons X etRaman) mettent en évidence une structure hexagonale würtzitede ZnO, Les mesures de transmission optique des couchesmontrent que la transmission optique est très élevée (facteur detransmission) dans la gamme de longueurs d’ondes situées entre 400nm et 2500 nm.