CORRÉLATION ENTRE LES PROPRIÉTÉS STRUCTURALES ET OPTIQUES D'ALN / MN TRAITÉES PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE PAR MAGNÉTRON D.C.

Auteurs :  K. CHETTAH, W. RICHI, A. Guenanou, D. ZELMATI, I. Attoui, H. Hazourli, N. Redjdal
Année : 2018
Domaine : Sciences et génie des matériaux
Type : Communication
Conférence: 4th INTERNATIONAL CONFERENCE ON ENERGY, MATERIALS, APPLIED ENERGETICS AND POLLUTION (ICEMAEP’2018)
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Mots clés : AlN couches mince;, Pulvérisation DC magnétron; Mode vibration local (MVL)

Résumé : 

Dans ce travail, nous présentons une étude de l'effet de l'addition de Mn sur les propriétés structurales et optiques des couches minces AlN / Mn préparées par pulvérisation DC magnétron et déposées sur des substrats Si (100) et étudiées par spectroscopie Raman, MEB et Spectroscopie UV-Visible. L’analyse Raman a permis de déterminer trois modes vibratoires attribués à la phase Wurtzite: A1 (TO); E1 (TO); E2 (haut) et le mode vibration local (MVL) associé à l'addition de Mn. L’analyse par Microscopie à Balayage (MEB) a montré que deux structures distinctes avec une apparence de formes de nanoparticules de fleurs. Les analyses UV-Visible montrent que le coefficient de transmission (T%) diminue de 91 à 80% avec l'addition de Mn.